TY - RPRT TI - AlN/Si interface engineering to mitigate RF losses in MOCVD grown GaN-on-Si substrates AU - Pieter Cardinael AU - Sachin Yadav AU - Herwig Hahn AU - Ming Zhao AU - Sourish Banerjee AU - Babak Kazemi Esfeh AU - Christof Mauder AU - Barry O Sullivan AU - Uthayasankaran Peralagu AU - Anurag Vohra AU - Robert Langer AU - Nadine Collaert AU - Bertrand Parvais AU - Jean-Pierre Raskin PY - 2024 DO - 10.1063/5.0212145 UR - https://arxiv.org/abs/2404.02707 ID - 2404.02707 ER -