TY - RPRT TI - Impact of Top SiO2 interlayer Thickness on Memory Window of Si Channel FeFET with TiN/SiO2/Hf0.5Zr0.5O2/SiOx/Si (MIFIS) Gate Structure AU - Tao Hu AU - Xianzhou Shao AU - Mingkai Bai AU - Xinpei Jia AU - Saifei Dai AU - Xiaoqing Sun AU - Runhao Han AU - Jia Yang AU - Xiaoyu Ke AU - Fengbin Tian AU - Shuai Yang AU - Junshuai Chai AU - Hao Xu AU - Xiaolei Wang AU - Wenwu Wang AU - Tianchun Ye PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2404.15825 ID - 2404.15825 ER -