TY - RPRT TI - Effect of Helium Ion Implantation on 3C-SiC Nanomechanical String Resonators AU - Philipp Bredol AU - Felix David AU - Nagesh S. Jagtap AU - Yannick S. Klaß AU - Georgy V. Astakhov AU - Artur Erbe AU - Eva M. Weig PY - 2024 DO - 10.1103/physrevapplied.22.034036 UR - https://arxiv.org/abs/2405.02035 ID - 2405.02035 ER -