TY - RPRT TI - Growth and Structure of alpha-Ta films for Quantum Circuit Integration AU - Loren D. Alegria AU - Alex Abelson AU - Eunjeong Kim AU - Soohyun Im AU - Paul M. Voyles AU - Vincenzo Lordi AU - Jonathan L Dubois AU - Yaniv J. Rosen PY - 2025 UR - https://arxiv.org/abs/2405.07388 ID - 2405.07388 ER -