TY  - RPRT
TI  - Reducing the oxygen contamination in conductive (Ti,Zr)N coatings via RF-bias assisted reactive sputtering
AU  - K. Thorwarth
AU  - M. Watroba
AU  - O. Pshyk
AU  - S. Zhuk
AU  - J. Patidar
AU  - J. Schwiedrzik
AU  - J. Sommerhäuser
AU  - L. Sommerhäuser
AU  - S. Siol
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2405.07789
ID  - 2405.07789
ER  -