TY - RPRT TI - High quality CVD deposition of Ge layers for Ge/SiGe Quantum Well heterostructures AU - Arianna Nigro AU - Eric Jutzi AU - Nicolas Forrer AU - Andrea Hofmann AU - Gerard Gadea AU - Ilaria Zardo PY - 2024 DO - 10.1103/physrevmaterials.8.066201 UR - https://arxiv.org/abs/2405.08214 ID - 2405.08214 ER -