TY  - RPRT
TI  - Efficient Bilevel Source Mask Optimization
AU  - Guojin Chen
AU  - Hongquan He
AU  - Peng Xu
AU  - Hao Geng
AU  - Bei Yu
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2405.09548
ID  - 2405.09548
ER  -