TY - RPRT TI - Silicon nitride integrated photonics from visible to mid-infrared spectra AU - Kirill A. Buzaverov AU - Aleksandr S. Baburin AU - Evgeny V. Sergeev AU - Sergey S. Avdeev AU - Evgeniy S. Lotkov AU - Sergey V. Bukatin AU - Ilya A. Stepanov AU - Aleksey B. Kramarenko AU - Ali Sh. Amiraslanov AU - Danil V. Kushnev AU - Ilya A. Ryzhikov AU - Ilya A. Rodionov PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2405.10038 ID - 2405.10038 ER -