TY - RPRT TI - CMOS-Compatible, AlScN-Based Integrated Electro-Optic Modulator AU - Valerie Yoshioka AU - Jicheng Jin AU - Haiqi Zhou AU - Zichen Tang AU - Roy H. Olsson III AU - Bo Zhen PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2405.11102 ID - 2405.11102 ER -