TY - RPRT TI - Cryogenic growth of tantalum thin films for low-loss superconducting circuits AU - Teun A. J. van Schijndel AU - Anthony P. McFadden AU - Aaron N. Engel AU - Jason T. Dong AU - Wilson J. Yánez-Parreño AU - Manisha Parthasarathy AU - Raymond W. Simmonds AU - Christopher J. Palmstrøm PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2405.12417 ID - 2405.12417 ER -