TY  - RPRT
TI  - Photoemission Spectroscopy on photoresist materials: A protocol for analysis of radiation sensitive materials
AU  - Faegheh S. Sajjadian
AU  - Laura Galleni
AU  - Kevin M. Dorney
AU  - Dhirendra P. Singh
AU  - Fabian Holzmeier
AU  - Michiel J. van Setten
AU  - Stefan De Gendt
AU  - Thierry Conard
PY  - 2024
DO  - 10.1116/6.0002808
UR  - https://arxiv.org/abs/2406.05148
ID  - 2406.05148
ER  -