TY  - RPRT
TI  - Foundry compatible, efficient wafer-scale manufacturing of ultra-low loss, high-density Si$_3$N$_4$ photonic integrated circuits
AU  - Xinru Ji
AU  - Rui Ning Wang
AU  - Yang Liu
AU  - Johann Riemensberger
AU  - Zheru Qiu
AU  - Tobias J. Kippenberg
PY  - 2024
DO  - 10.1364/optica.529673
UR  - https://arxiv.org/abs/2406.14296
ID  - 2406.14296
ER  -