TY  - RPRT
TI  - Nanopatterning of multicomponent van der Waals heterostructures using atomic force microscopy
AU  - A. L. Shilov
AU  - L. Elesin
AU  - A. Grebenko
AU  - V. I. Kleshch
AU  - M. A. Kashchenko
AU  - I. Mazurenko
AU  - E. Titova
AU  - E. Zharkova
AU  - D. S. Yakovlev
AU  - K. S. Novoselov
AU  - D. A. Ghazaryan
AU  - V. Dremov
AU  - D. A. Bandurin
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2406.16354
ID  - 2406.16354
ER  -