TY - RPRT TI - Wafer-Scale Fabrication of InGaP-on-Insulator for Nonlinear and Quantum Photonic Applications AU - Lillian Thiel AU - Joshua E. Castro AU - Trevor J. Steiner AU - Catherine L. Nguyen AU - Audrey Pechilis AU - Liao Duan AU - Nicholas Lewis AU - Garrett D. Cole AU - John E. Bowers AU - Galan Moody PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2406.18788 ID - 2406.18788 ER -