TY  - RPRT
TI  - CMOS-fabricated ultraviolet light modulators using low-loss alumina piezo-optomechanical photonic circuits
AU  - Zachary A. Castillo
AU  - Roman Shugayev
AU  - Daniel Dominguez
AU  - Michael Gehl
AU  - Nicholas Karl
AU  - Andrew Leenheer
AU  - Bethany Little
AU  - Yuan-Yu Jau
AU  - Matt Eichenfield
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.00469
ID  - 2407.00469
ER  -