TY  - RPRT
TI  - Study of a Novel Capacitive Pressure Sensor Using Spiral Comb Electrodes
AU  - Wenjie Chen
AU  - Qi Yang
AU  - Qi Liu
AU  - Yiqun Zhang
AU  - Liang He
AU  - Yuanlin Xia
AU  - Zhuqing Wang
AU  - Yubo Huang
AU  - Jianfeng Chen
AU  - Cao Xia
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.08559
ID  - 2407.08559
ER  -