TY  - RPRT
TI  - Fabrication of low-loss lithium niobate on insulator waveguides on the wafer scale
AU  - Mohammadreza Younesi
AU  - Thomas Kasebier
AU  - Ilia Elmanov
AU  - Yang-Teng Li
AU  - Pawan Kumar
AU  - Reinhard Geiss
AU  - Thomas Siefke
AU  - Falk Eilenberger
AU  - Frank Setzpfandt
AU  - Uwe Zeitner
AU  - Thomas Pertsch
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.09208
ID  - 2407.09208
ER  -