TY  - RPRT
TI  - Complementary two dimensional carrier profiles of 4H-SiC MOSFETs by Scanning Spreading Resistance Microscopy and Scanning Capacitance Microscopy
AU  - Patrick Fiorenza
AU  - Marco Zignale
AU  - Edoardo. Zanetti
AU  - Mario S. Alessandrino
AU  - Beatrice Carbone
AU  - Alfio Guarnera
AU  - Mario Saggio
AU  - Filippo Giannazzo
AU  - Fabrizio Roccaforte
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.13370
ID  - 2407.13370
ER  -