TY - RPRT TI - Double Etch Method for the Fabrication of Nanophotonic Devices from Van der Waals Materials AU - Otto Cranwell Schaeper AU - Lesley Spencer AU - Dominic Scognamiglio AU - Waleed El-Sayed AU - Benjamin Whitefield AU - Jake Horder AU - Nathan Coste AU - Paul Barclay AU - Milos Toth AU - Anastasiia Zalogina AU - Igor Aharonovich PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2407.13475 ID - 2407.13475 ER -