TY  - RPRT
TI  - alpha-Ta Films on c-plane Sapphire with Enhanced Microstructure
AU  - Lena N. Majer
AU  - Sander Smink
AU  - Wolfgang Braun
AU  - Bernhard Fenk
AU  - Varun Harbola
AU  - Benjamin Stuhlhofer
AU  - Hongguang Wang
AU  - Peter A. van Aken
AU  - Jochen Mannhart
AU  - Felix V. E. Hensling
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.16227
ID  - 2407.16227
ER  -