TY  - RPRT
TI  - Optimizing ToF-SIMS Depth Profiles of Semiconductor Heterostructures
AU  - Jan Tröger
AU  - Reinhard Kersting
AU  - Birgit Hagenhoff
AU  - Dominique Bougeard
AU  - Nikolay V. Abrosimov
AU  - Jan Klos
AU  - Lars R. Schreiber
AU  - Hartmut Bracht
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2407.17985
ID  - 2407.17985
ER  -