TY  - RPRT
TI  - In situ etching of \b{eta}-Ga2O3 using tert-butyl chloride in an MOCVD system
AU  - Cameron A. Gorsak
AU  - Henry J. Bowman
AU  - Katie R. Gann
AU  - Joshua T. Buontempo
AU  - Kathleen T. Smith
AU  - Pushpanshu Tripathi
AU  - Jacob Steele
AU  - Debdeep Jena
AU  - Darrell G. Schlom
AU  - Huili Grace Xing
AU  - Michael O. Thompson
AU  - Hari P. Nair
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.01574
ID  - 2408.01574
ER  -