TY  - RPRT
TI  - Enhanced Superconducting Qubit Performance Through Ammonium Fluoride Etch
AU  - Cameron J. Kopas
AU  - Dominic P. Goronzy
AU  - Thang Pham
AU  - Carlos G. Torres Castanedo
AU  - Matthew Cheng
AU  - Rory Cochrane
AU  - Patrick Nast
AU  - Ella Lachman
AU  - Nikolay Z. Zhelev
AU  - Andre Vallieres
AU  - Akshay A. Murthy
AU  - Jin-su Oh
AU  - Lin Zhou
AU  - Matthew J. Kramer
AU  - Hilal Cansizoglu
AU  - Michael J. Bedzyk
AU  - Vinayak P. Dravid
AU  - Alexander Romanenko
AU  - Anna Grassellino
AU  - Josh Y. Mutus
AU  - Mark C. Hersam
AU  - Kameshwar Yadavalli
PY  - 2024
DO  - 10.1088/2633-4356/ad88cc
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.02863
ID  - 2408.02863
ER  -