TY  - RPRT
TI  - CMOS-Compatible Ultrathin Superconducting NbN Thin Films Deposited by Reactive Ion Sputtering on 300 mm Si Wafer
AU  - Zihao Yang
AU  - Xiucheng Wei
AU  - Pinku Roy
AU  - Di Zhang
AU  - Ping Lu
AU  - Samyak Dhole
AU  - Haiyan Wang
AU  - Nicholas Cucciniello
AU  - Nag Patibandla
AU  - Zhebo Chen
AU  - Hao Zeng
AU  - Quanxi Jia
AU  - Mingwei Zhu
PY  - 2024
DO  - 10.3390/ma16237468
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.05621
ID  - 2408.05621
ER  -