TY  - RPRT
TI  - Tunable Doping and Mobility Enhancement in 2D Channel Field-Effect Transistors via Damage-Free Atomic Layer Deposition of AlOX Dielectrics
AU  - Ardeshir Esteki
AU  - Sarah Riazimehr
AU  - Agata Piacentini
AU  - Harm Knoops
AU  - Bart Macco
AU  - Martin Otto
AU  - Gordon Rinke
AU  - Zhenxing Wang
AU  - Ke Ran
AU  - Joachim Mayer
AU  - Annika Grundmann
AU  - Holger Kalisch
AU  - Michael Heuken
AU  - Andrei Vescan
AU  - Daniel Neumaier
AU  - Alwin Daus
AU  - Max C. Lemme
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.07183
ID  - 2408.07183
ER  -