TY - RPRT TI - Angstrom-scale ion-beam engineering of ultrathin buried oxides for quantum and neuro-inspired computing AU - N. Smirnov AU - E. Krivko AU - D. Moskaleva AU - D. Moskalev AU - A. Solovieva AU - V. Echeistov AU - E. Zikiy AU - N. Korshakov AU - A. Ivanov AU - E. Malevannaya AU - A. Matanin AU - V. Polozov AU - M. Teleganov AU - N. Zhitkov AU - R. Romashkin AU - I. Korobenko AU - A. Yanilkin AU - A. Lebedev AU - I. Ryzhikov AU - A. Andriyash AU - I. Rodionov PY - 2024 UR - https://arxiv.org/abs/2408.10138 ID - 2408.10138 ER -