TY  - RPRT
TI  - High quality epitaxial piezoelectric and ferroelectric wurtzite Al$_{1-x}$Sc$_x$N thin films
AU  - Yang Zeng
AU  - Yihan Lei
AU  - Yanghe Wang
AU  - Mingqiang Cheng
AU  - Luocheng Liao
AU  - Xuyang Wang
AU  - Jinxin Ge
AU  - Zhenghao Liu
AU  - Wenjie Ming
AU  - Chao Li
AU  - Shuhong Xie
AU  - Jiangyu Li
AU  - Changjian Li
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.11379
ID  - 2408.11379
ER  -