TY  - RPRT
TI  - High fidelity TiN processing modes for multi-gate Ge-based quantum devices
AU  - Sinan Bugu
AU  - Sheshank Biradar
AU  - Alan Blake
AU  - CheWee Liu
AU  - Maksym Myronovd
AU  - Ray Duffy
AU  - Giorgos Fagas
AU  - Nikolay Petkov
PY  - 2024
DO  - 10.1021/acsaelm.4c01499
UR  - https://arxiv.org/abs/2408.14966
ID  - 2408.14966
ER  -