TY  - RPRT
TI  - Piezoresistive PtSe$_2$ pressure sensors with reliable high sensitivity and their integration into CMOS ASIC substrates
AU  - Sebastian Lukas
AU  - Nico Rademacher
AU  - Sofía Cruces
AU  - Michael Gross
AU  - Eva Desgué
AU  - Stefan Heiserer
AU  - Nikolas Dominik
AU  - Maximilian Prechtl
AU  - Oliver Hartwig
AU  - Cormac Ó Coileáin
AU  - Tanja Stimpel-Lindner
AU  - Pierre Legagneux
AU  - Arto Rantala
AU  - Juha-Matti Saari
AU  - Miika Soikkeli
AU  - Georg S. Duesberg
AU  - Max C. Lemme
PY  - 2024
DO  - 10.1021/acsnano.4c15098
UR  - https://arxiv.org/abs/2409.03053
ID  - 2409.03053
ER  -