TY  - RPRT
TI  - Development of ion-beam sputtered silicon nitride thin films for low-noise mirror coatings of gravitational-wave detectors
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PY  - 2025
DO  - 10.1103/physrevd.111.042003
UR  - https://arxiv.org/abs/2409.07147
ID  - 2409.07147
ER  -