TY  - RPRT
TI  - Cryogenic microwave performance of silicon nitride and amorphous silicon deposited using low-temperature ICPCVD
AU  - Jiamin Sun
AU  - Shibo Shu
AU  - Ye Chai
AU  - Lin Zhu
AU  - Lingmei Zhang
AU  - Yongping Li
AU  - Zhouhui Liu
AU  - Zhengwei Li
AU  - Yu Xu
AU  - Daikang Yan
AU  - Weijie Guo
AU  - Yiwen Wang
AU  - Congzhan Liu
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2409.09301
ID  - 2409.09301
ER  -