TY  - RPRT
TI  - Data-driven surrogate model for etch rate profiles using sensor data from a reactive ion etcher
AU  - Abhijit Pranav Pamarty
AU  - Robert Neuweiler
AU  - Le Quyen Do
AU  - Keaton Johnson
AU  - James J. Sanchez
AU  - Dinesh Koli
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2409.12925
ID  - 2409.12925
ER  -