TY  - RPRT
TI  - Open-Source Differentiable Lithography Imaging Framework
AU  - Guojin Chen
AU  - Hao Geng
AU  - Bei Yu
AU  - David Z. Pan
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2409.15306
ID  - 2409.15306
ER  -