TY - RPRT TI - Effect of Etching Methods on Dielectric Losses in Transmons AU - T. A. Chudakova AU - G. S. Mazhorin AU - I. V. Trofimov AU - N. Yu. Rudenko AU - A. M. Mumlyakov AU - A. S. Kazmina AU - E. Yu. Egorova AU - P. A. Gladilovich AU - M. V. Chichkov AU - N. A. Maleeva AU - M. A. Tarkhov AU - V. I. Chichkov PY - 2024 DO - 10.1134/s0021364024602410 UR - https://arxiv.org/abs/2409.16097 ID - 2409.16097 ER -