TY - RPRT TI - Polygon-based unified Fourier-modal approach for diffractive optics simulations AU - K. V. Nikolaev AU - V. Soltwisch AU - M. A. Botchev AU - A. Fernández Herrero AU - P. Hönicke AU - F. Scholze AU - S. N. Yakunin PY - 2024 DO - 10.1103/n2qj-l886 UR - https://arxiv.org/abs/2410.14217 ID - 2410.14217 ER -