TY  - RPRT
TI  - Long-term stability and oxidation of ferroelectric AlScN devices: An operando HAXPES study
AU  - Oliver Rehm
AU  - Lutz Baumgarten
AU  - Roberto Guido
AU  - Pia Maria Düring
AU  - Andrei Gloskovskii
AU  - Christoph Schlueter
AU  - Thomas Mikolajick
AU  - Uwe Schroeder
AU  - Martina Müller
PY  - 2024
DO  - 10.1002/pssr.202400307
UR  - https://arxiv.org/abs/2410.21132
ID  - 2410.21132
ER  -