TY  - RPRT
TI  - Phase transformation and water adsorption behavior of ALD deposited and annealed Ru and RuO2 films
AU  - S. S. Nalawade
AU  - R. S. Kim
AU  - J. Mahl
AU  - S. Cherono
AU  - I. Chris-Okoro
AU  - V. Craciun
AU  - J. Yan
AU  - E. Crumlin
AU  - D. Kumar
AU  - S. Aravamudhan
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2410.22666
ID  - 2410.22666
ER  -