TY  - RPRT
TI  - Improved Leakage Currents and Polarity Control through Oxygen Incorporation in Ferroelectric Al0.73Sc0.27N Thin Films
AU  - Md Redwanul Islam
AU  - Niklas Wolff
AU  - Georg Schönweger
AU  - Tom-Niklas Kreutzer
AU  - Margaret Brown
AU  - Maike Gremmel
AU  - Patrik Straňák
AU  - Lutz Kirste
AU  - Geoff L. Brennecka
AU  - Simon Fichtner
AU  - Lorenz Kienle
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2411.17360
ID  - 2411.17360
ER  -