TY  - RPRT
TI  - Multi-focal Picosecond laser vertical slicing of 6 inch 4H-SiC ingot
AU  - Jiabao Du
AU  - Shusen Zhao
AU  - Xiaoyu Lu
AU  - Lu Jiang
AU  - Shifei Han
AU  - Xinyao Li
AU  - Xuechun Lin
PY  - 2024
UR  - https://arxiv.org/abs/2411.18093
ID  - 2411.18093
ER  -