TY  - RPRT
TI  - A Machine Learning Approach Capturing Hidden Parameters in Autonomous Thin-Film Deposition
AU  - Yuanlong Zheng
AU  - Connor Blake
AU  - Layla Mravac
AU  - Fengxue Zhang
AU  - Yuxin Chen
AU  - Shuolong Yang
PY  - 2024
DO  - 10.1038/s41524-025-01805-0.
UR  - https://arxiv.org/abs/2411.18721
ID  - 2411.18721
ER  -