TY  - RPRT
TI  - Commercial CMOS Process for Quantum Computing: Quantum Dots and Charge Sensing in a 22 nm Fully Depleted Silicon-on-Insulator Process
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AU  - C. Rohrbacher
AU  - X. Wu
PY  - 2024
DO  - 10.1109/led.2025.3595384
UR  - https://arxiv.org/abs/2412.08422
ID  - 2412.08422
ER  -