TY  - RPRT
TI  - A detailed examination of polysilicon resistivity incorporating the grain size distribution
AU  - Mikael Santonen
AU  - Antti Lahti
AU  - Zahra Jahanshah Rad
AU  - Mikko Miettinen
AU  - Masoud Ebrahimzadeh
AU  - Juha-Pekka Lehtiö
AU  - Enni Snellman
AU  - Pekka Laukkanen
AU  - Marko Punkkinen
AU  - Kalevi Kokko
AU  - Katja Parkkinen
AU  - Markus Eklund
PY  - 2024
DO  - 10.1109/ted.2025.3530865
UR  - https://arxiv.org/abs/2412.15784
ID  - 2412.15784
ER  -