TY  - RPRT
TI  - Federated Knowledge Distillation for Multi-Model Architectures Lithography Hotspot Detection
AU  - Yuqi Li
AU  - Xingyou Lin
AU  - Yanli Li
AU  - Kai Zhang
AU  - Chuanguang Yang
AU  - Zhongliang Guo
AU  - Jianping Gou
AU  - Tingwen Huang
AU  - Yingli Tian
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2501.04066
ID  - 2501.04066
ER  -