TY  - RPRT
TI  - X-ray diffraction characterization of suspended structures for MEMS applications
AU  - P. Goudeau
AU  - N. Tamura
AU  - B. Lavelle
AU  - S. Rigo
AU  - T. Masri
AU  - A. Bosseboeuf
AU  - T. Sarnet
AU  - J. -A. Petit
AU  - J. -M. Desmarres
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2501.10424
ID  - 2501.10424
ER  -