TY  - RPRT
TI  - Tracking the creation of single photon emitters in AlN by implantation and annealing
AU  - H. B. Yağcı
AU  - E. Nieto Hernández
AU  - J. K. Cannon
AU  - S. G. Bishop
AU  - E. Corte
AU  - J. P. Hadden
AU  - P. Olivero
AU  - J. Forneris
AU  - A. J. Bennett
PY  - 2025
DO  - 10.1016/j.optmat.2024.115967
UR  - https://arxiv.org/abs/2501.12546
ID  - 2501.12546
ER  -