TY  - RPRT
TI  - Cavity-based compact light source for extreme ultraviolet lithography
AU  - Changchao He
AU  - Hanxiang Yang
AU  - Nanshun Huang
AU  - Bo Liu
AU  - Haixiao Deng
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2501.14541
ID  - 2501.14541
ER  -