TY  - RPRT
TI  - Monolithic 4H-SiC nanomechanical resonators with high intrinsic quality factors
AU  - A. Hochreiter
AU  - P. Bredol
AU  - F. David
AU  - B. Demiralp
AU  - H. B. Weber
AU  - E. M. Weig
PY  - 2025
DO  - 10.1103/vclj-v8qx
UR  - https://arxiv.org/abs/2501.17960
ID  - 2501.17960
ER  -