TY  - RPRT
TI  - TorchResist: Open-Source Differentiable Resist Simulator
AU  - Zixiao Wang
AU  - Jieya Zhou
AU  - Su Zheng
AU  - Shuo Yin
AU  - Kaichao Liang
AU  - Shoubo Hu
AU  - Xiao Chen
AU  - Bei Yu
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2502.06838
ID  - 2502.06838
ER  -