TY  - RPRT
TI  - Eliminating nanometer-scale asperities on metallic thin films through plasma modification processes studied by molecular dynamics and AFM
AU  - Tomoyuki Tsuyama
AU  - Tatsuki Oyama
AU  - Yu Azuma
AU  - Haruhisa Ohashi
AU  - Masahiro Irie
AU  - Ayumi Yamakawa
AU  - Shoko Uetake
AU  - Takayuki Konno
AU  - Takahiro Ukai
AU  - Kohei Ochiai
AU  - Nobuyuki Iwaoka
AU  - Atsushi Hashimoto
AU  - Yoshishige Okuno
PY  - 2025
UR  - https://arxiv.org/abs/2502.09031
ID  - 2502.09031
ER  -