TY  - RPRT
TI  - Effect of Annealing on Al Diffusion and its Impact on the Properties of Ga$_2$O$_3$ Thin Films Deposited on c-plane Sapphire by RF Sputtering
AU  - Ana Sofia Sousa
AU  - Duarte M. Esteves
AU  - Tiago T. Robalo
AU  - Mário S. Rodrigues
AU  - Luís F. Santos
AU  - Katharina Lorenz
AU  - Marco Peres
PY  - 2025
DO  - 10.1002/pssr.202500053
UR  - https://arxiv.org/abs/2502.12823
ID  - 2502.12823
ER  -